Российские учёные модернизировали советский нанолитограф

Учёные Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН) модернизировали старый электронный нанолитограф, созданный ещё в советское время, и превратили его в установку для производства компонентов рентгеновской и дифракционной оптики. ferra.ru »