
Российская академия наук (РАН) планирует в ближайшие два года разработать литографический сканер с длиной волны 193 нанометра. Как заявил президент РАН Геннадий Красников, это оборудование необходимо для производства современных микросхем, включая чипы до 5 нм.
ferra.ru2025-5-15 19:12